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行業(yè)產(chǎn)品

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湖南弘林科學(xué)儀器有限公司


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等離子清洗機(jī)PDC200/210/510

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產(chǎn)品型號(hào)PDC200

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地長(zhǎng)沙市

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更新時(shí)間:2023-06-09 13:49:29瀏覽次數(shù):204次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:5條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:李經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情高頻輸出300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型)電極尺寸250170mm(PDC200/210型)/410170mm(PDC510型)使用等離子的表面處理裝置

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

高頻輸出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型)

電極尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)


使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡(jiǎn)單”的臺(tái)式高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單,以電子材料為中心,可對(duì)應(yīng)多種用途。

等離子灰化機(jī)PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝


等離子灰化機(jī)PDC200/210/510特征
● DP模式(PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配)
● RIE模式
● 均勻性高的電極構(gòu)造
● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏控制器

等離子灰化機(jī)PDC200/210/510內(nèi)槽

等離子灰化機(jī)PDC200內(nèi)槽

構(gòu)成圖

等離子灰化機(jī)PDC200內(nèi)槽構(gòu)成圖

DP模式
PDC510標(biāo)配)
PDC200/210選配)


RIE模式構(gòu)成圖



RIE模式


等離子灰化機(jī)PDC200/210/510規(guī)格

型號(hào)
PDC200
PDC210
PDC510
等離子模式
RIE(DP模式選配)
電極構(gòu)造
平行平板(固定)
高頻輸出
Max300W
Max500W
頻率
13.56MHz
控制·顯示
液晶觸摸屏
反應(yīng)室尺寸
W400×D250×H150mm
W500×D300×H200mm
電極尺寸
W250×D170mm
W400×D200mm
反應(yīng)室材質(zhì)

反應(yīng)氣體
2系統(tǒng)(Ar、O 2 )
填充氣體
N 2 或干燥空氣
反應(yīng)氣體流量控制
流量計(jì)
聚合控制器
真空泵
另行選配
油泵(約345L/分)標(biāo)配
油泵(約500L/分)標(biāo)配
氣體導(dǎo)入口
反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)
外形尺寸
W540×D600×H600mm
W540×D600×H600mm
W700×D700×H1285mm
重量
約100kg
約105kg
約180kg
電源
單相 AC100V 10A
三相AC200V 6A
三相AC200V 8A

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