此款位移傳感器為nm級別光學位移傳感器，分辨率可達10nm，測量范圍100um.不同于常用的電容式位移傳感器，由于其采用光學設計，具有對電磁**，可用于復雜的強電磁環境中。由于采用多種技術，使其靈敏度達到干涉儀級別。
具有如下特色：
1.對溫度變化不敏感。
2.對電場，磁場及電磁輻射**。
3.具有大的可測范圍，對傳感器定位精度要求不高。
4.具有高的測量帶寬，適合于振動分析及高速測量。
5.具有小的測試區域。測試點大小可為30um~400um的測試光斑。
可應用于如下各場合：
1.定位控制。
2.振動測試。
3.離軸測量。
4.表面特性測試。
5.薄膜或涂層的厚度測量。
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