奧坤鑫（蘇州）機電科技有限公司
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編號項目技術參數1機臺整機規格PR24L :650(W)times;1240(H)times;580(D)mmPR40L: 750(W)times;550(H)times;650(D)mm2真空室規格PR24L :進口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mmPR40L:進口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm 3電極板規格PR24L，6層平板式電極板（240(W)times;270(D)mm）PR40L，8平板式電極板（330(W)times;315(D)mm）4控制系統觸摸屏+PLC控制5真空測定系統皮拉尼電阻式真···
編號 | 項目 | 技術參數 |
1 | 機臺整機規格 | PR24L :650(W)×1240(H)×580(D)mm PR40L: 750(W)×550(H)×650(D)mm |
2 | 真空室規格 | PR24L :進口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm PR40L:進口鋁 350(W)×300(H)×400(D)mm |
3 | 電極板規格 | PR24L，6層平板式電極板（ 240(W)×270(D)mm） PR40L，8平板式電極板（330(W)×315(D)mm） |
4 | 控制系統 | 觸摸屏+PLC控制 |
5 | 真空測定系統 | 皮拉尼電阻式真空計 |
6 | 氣體計量系統 | 精確質量流量控制計 MFC |
7 | 氣體路數 | 2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
8 | 等離子發生器 | 0-1KW等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz） |
9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |
特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。 | ||
用 途：適用于攝像頭及行業，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。 | ||
1、印制線路板行業：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污，軟板補強前活化。 2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗； 3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。 | ||
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