掃描電子顯微鏡 (SEM) 不僅是開展科研工作所的工具，對于需要品控的制造工廠也是的。 在這些場景中，用戶需要重復執行相同的觀察操作，因此快速完成這些操作有助于提高工作效率。 JSM-IT510 新增的“簡單 SEM"功能，用戶可將 SEM 觀察所需的“手動重復操作交給它"，從而更高效、更輕松地完成 SEM 觀察。
此系列有下面4種配置
| BU（基本單元） | 基本類型， 高真空條件下觀察
|
| A（分析型） | 分析型，標配EDS能譜 |
| LV（低真空型） | 低真空型，適用于高、低真空操作，配置BED |
| LA（低真空分析型） | 低真空分析型，適用于高、低真空操作，配置BED和EDS |
SEM規格
分辨率
| 高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED） |
| 放大倍數 | x5 至 x300，000 |
| 電子槍 | 鎢燈絲，全自動電子槍調準 |
| 加速電壓 | 0.3kV~ 30kV |
探針電流
| 1pA~1uA |
| LV壓力調節 | 10~650Pa |
| 物鏡光闌 | 4檔，帶XY微調功能 |
自動功能
| 燈絲飽和點調整、電子槍合軸調整、電子束對中調整、聚焦/散光/亮度/襯度調整 |
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 x 75mm高 |
| 樣品臺 | 大型全對中樣品臺 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 傾斜：-10~90o 旋轉：360o |
| 圖像模式 | 二次電子像、REF像、成分像、形貌像、陰影像 |
圖像尺寸
| 640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840 |
| 照片輔助功能 | 蒙太奇、簡單SEM、Zeromag、實時3D |
| 操作支持功能 | 菜單（標準菜單/自定義菜單），測量、樣品交換導航、信號深度功能、3D測量* |
| 操作系統 | Win10 64位 |
顯示器
| 23.8英寸觸控面板 |
| 語言切換 | 日語、英語、中文（可在用戶界面上操作）
|
| 真空系統 | 全自動、TMP、RP |
主要可選項
1. 背散射電子探測器BED
2. 低真空混合二次電子探測器LHSED
3. 低真空二次電子檢測器LVSED
4. 能譜儀EDS
5. 波譜儀WDS
6. 電子背散射衍射圖樣EBSD
7. 真空預抽室LLC
8. 樣品臺導航系統SNS
9. 大區域樣品臺導航系統SNSLS
10. 樣品室相機CS
11. 操作面板OP2
12. LaB6電子槍
13. 3D分析軟件SVM
