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UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

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產品簡介

UVISELPlus橢圓偏振光譜儀UVISELPlus光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nmUVISELPlus橢圓偏振光譜儀為薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優化組合

詳細介紹


UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀

UVISEL Plus光譜范圍從FUV到NIR:190-2100nm
UVISEL Plus橢圓偏振光譜儀為薄膜、表面和界面表征提供了模塊化和性能的優化組合。
UVISEL Plus作為一款高準確性、高靈敏度、高穩定性的經典橢偏機型,它采用了PEM 相位調制技術,與機械旋轉部件技術相比, 能提供更好的穩定性和信噪比。光譜范圍從190nm到2100nm。
UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技術,可在3分鐘以內實現高分辨的樣品測試(190-2100 nm),校準僅需幾分鐘。基于全新的電子設備,數據處理和高速單色儀,FastAcq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數據采集。FastAcq專門為薄膜表征設計,雙調制技術可以確保您獲得優異的測試結果。
相位調制技術的特點為高頻調制 50 kHz,信號采集過程無移動部件:
測試全范圍的橢偏角,Ψ (0-90),Δ (0-360)
從FUV到NIR具有優良的信噪比
數據采集速度快,高達50毫秒/點,是動力學研究和在線測量的理想選擇相比于采用 旋轉元件調制的傳統橢圓偏振光譜儀,UVISEL Plus的相位調制模式在表征薄膜方面具有更高的靈敏度和精度。它不僅可以探測到其他橢偏儀無法觀測到的極薄膜或界面,還可以表征50µm的厚膜。
 在測試有背反射的透明樣品時,測試簡單、準確,無需刮花背面。
UVISEL Plus還設計有多種附件及可選功能,便于客戶根據應用需求及預算選擇合適的配置。比如,微光斑用于圖案樣品、自動變角器、自動樣品臺等。
UVISEL Plus采用模塊化設計,可靈活擴展。即可用于離線臺式測量,也可以耦合于鍍膜設備做在線監控。
UVISEL Plus可根據習慣選擇操作界面,一個是 DeltaPsi2 具有建模和擬合處理功能;另一個是 Auto-Soft 用戶導向的全自動樣品測試界面 ,工作流程直觀,易于非專業人士操作。
UVISEL Plus搭載FastAcq技術是材料研究和加工、平板顯示、微電子和光伏領域中優選通用光譜型橢偏儀。

UVISEL Plus是材料科學研究的理想工具。


產品優勢
●高精度和高靈敏度
●模塊化設計
●寬光譜范圍: 190-2100 nm
●集數據測量、建模和自動化操作為一體的軟件包


獲得的信息
●膜層厚度,從1?到50 µm
●表面和界面粗糙度
●光學常數 (n,k) ,適用于各向同/異性和漸變層
●光學特性如:吸收系數α, 光學帶隙Eg
●材料性能:合金成分、孔隙率、結晶度及形貌等
●穆勒矩陣
●退偏


配置

UVISEL 規格
●光譜范圍:標配190-885nm,可擴展至近紅外2100nm
●檢測系統:高分辨率光譜儀配合高靈敏探測器
 手動配置
●光斑尺寸:0.05 – 0.1 – 1 mm(針孔)
●樣品臺:直徑150mm,手動調節高度(20mm)和傾角
●卡位量角器:手動調節角度,從55°到90°,步徑5°
 自動配置
●光斑尺寸:0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm(針孔)
●自動樣品平臺:200 x 200mm或300 x 300mm,手動調節高度(4mm)和傾角;●XYZ樣品臺,theta平臺
●自動量角器:自動調節角度,從45°到90°,步徑0.01°
 集成型量角器
●手動調節入射角度,從35°到90°,步徑5°
●樣品臺:直徑150mm,手動調節高度(20mm)
●自動準直系統(可選)
●尺寸: 25cm*21cm*35cm
 在線配置
●機械適配器:CF35或KF40法蘭
●易于在在線和離線配置間更改
 選配
●附件:冷熱臺、液體樣品池、電化學反應池、反射模塊(測試0°入射的反射率)等
●可視化:CCD攝像機
性能
●準確度:Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°,空氣對射1.5 - 5.3 eV
●重復性:NIST 1000? SiO2/Si (190-2100 nm),d±0.1%,n(632.8nm)±0.0001





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