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日本YAMATO在線式等離子清洗機ISP500

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產品型號ISP500

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YAMATO等離子清洗機

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產品簡介

日本YAMATO在線式等離子清洗機ISP500

詳細介紹

日本YAMATO在線式等離子清洗機ISP500:

Plasma Apparatus

ISP500Series

Plasma Model

RIE/DP

RIE : Reactive Ion Etching
DP : Direct Plasma

RF Generator

10 to 500W

OscillatingFrequency

13.56MHz

Chamber Size (mm)

344W×230D×45H

In-Line and Stａnd Alone Type (Strip to Strip process)

Outline
Two lead frame(strip)vertical or parallel loading function. Pull out two stripfromMagazine--Loading two strip into the chamber--Plasumacleaningprocess--Unloading two strip from chamber--Strip goes tomagazineor next process to direct.
Total system controlled by PLC controller. LCD touch paneldisplayａnd operation. Lead frame (strip) size--Up to 25 to80(W)×100 to250(L)×0.2 to 2.5(t)mm also. We can provide CustomizedIn-Lineplasma.

Feature

Special electrode built inforgetting good plasma efficient.
RIE/DP mode selectable
RF power up to 500W
All automatic operation
LCD touch panel andPLCcontrol
Any chamber sizeareavailable for customer's Lead frameorstrip.

Specifications

Model	ISP500 series
Plasmamethod	RIE/DPmode
RFgenerator	10 to 500W
Oscillation frequency	13.56MHz
Controlsystem	LCD touchpanelwith PLC
Tuningmethod	Automatictuning
Chambersize	344(W)×230(D)×45(H)mm
Electrodesize	250(W)×180(D)mm
Gassystem	Mass flowcontrol2 line