深圳市啟誠儀器設備有限公司
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一
一， 產品命名規則：
SS-60系列產品是針對絕大部分工廠和較低級別要求的實驗室配置的一款低配置掃描電鏡，系列產品包括如下配置：
型號命名規則如下：
二，簡單說明：(Description)
（1）zui大放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）5KV~30KV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:5kV to 30Kv，High image resolution）
（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）冷卻臺的安裝可在無前處理情況下對水分取樣分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
（6）高/低真空配置縮短前處理過程（High&Low Vacuum System）
（7）CCD攝像頭的安裝可對載物臺內部觀察（The CCD camera is mounted to view the inside of the stage）
（8）Tilt（0~45）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技術參數：(Product specifications)
分辨率（Resolution）
| 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速電壓（Accelerating Voltage） | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
圖像檢測 （Signal Detection）`
| 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
電子槍系統（Electron Gun） | |
燈絲類型（Filament type） | 預對中鎢燈絲（Pre Centered tungsten filament Cartridge） |
偏壓系統（Bias voltage system） | 自動偏壓方式（Automatic mode） |
電子槍校正 （Electron gun alignment） | 手動方式（Manual mode） |
透鏡構成（Lens system） | |
聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
探測器類型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺系統( Stage System) | Auto or Mauanl |
載物臺移動（Stage Traverse） | 3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
樣品尺寸 （Max Sample size） | 高度30mm時直徑70mm，70mm in diameter, 30mm in height |
圖像掃描 （Image Scanning system） | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自動功能 （Automatic Function） | 自動啟動(Auto start)，自動聚焦(Auto focus)，自動亮度對比度調節(Auto Brightness/Contrast) |
圖像存儲格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數據顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探測器類型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 |
真空系統（Vacuum system） | 全自動型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) （旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間(pump down time)：2分鐘以內 (less than 2 minutes) |
操控系統(Control unit system) | 鼠標和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 | |
軟件（Software function） | 圖像文件打開，編輯，存儲功能(Image file open, edit, Save function) 長度，面積，角度等測量功能(Length, area, angle measuring) |
體積（ Volume） | 設備主機（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set 根據客戶實際情況使用Anti vabration Table |
重量 （Weight） | 105kg |
設備環境 （Equipment environment） | 溫度(Temperature)：15℃~30℃ 電源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
四、樣品檢測結果
我們使用實驗室廢棄的一顆不良品螺絲作為樣品進行了實際測試,圖片如下:
螺絲，放大47倍， 30 kV，SE探測器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探測器，高真空模式
螺絲，放大47倍， 30 kV，SE探測器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探測器，高真空模式
螺牙部分，放大100倍，10 kV，SE探測器，高真空模式
螺紋牙底部分，放大500倍，10 kV，SE探測器，高真空模式
五、附件包（Accessories package）：
預對中鎢燈絲 Pre Centered tungsten filament | 5 pcs/box |
載物臺（Sample Stage）
| 15mm dia. (10 pcs) |
25mm dia. (10 pcs) | |
15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
15mm 90° Tilt (5pcs) | |
真空潤滑油(Vacuum pump oil) | 1ea |
高度基準模塊(Height standard master) | 1ea |
6角扳手(allen wrench) | 1set |
掃描電鏡軟件修復用CD (SEM Software CD) | 1ea |
銀膠(Silver Paste) 30g | 1ea |
碳導電膠帶(Carbon conductive tape) | 1roll |
剪刀(scissors) | 1ea |
洗耳球(aurilave) | 1ea |
鑷子(tweezers) | 1ea |
工具箱(Tools Box) | 1ea |
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