SEM4000Pro是一款分析型熱場發射掃描電子顯微鏡,配備了高亮度、長壽命的肖特基場發射電子槍。三級磁透鏡設計,束流可達200 nA,在EDS、EBSD、WDS等應用上具有明顯優勢。標配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器,可觀察導電性弱或不導電樣品。標配的光學導航模式,以及直觀的操作界面,讓您的分析工作倍感輕松。
- 超高分辨率(0.9 nm@30 kV)
- 低真空模式(180 Pa)
- 三級磁透鏡設計
- 200 nA大束流(選配)
- 機械優中心樣品臺
- 快速換樣倉(8寸)
產品優勢
01 配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發射電子槍
02 分辨率高,30 kV 下優于 0.9 nm 的極限分辨率
03 三級磁透鏡設計,束流可調范圍大,支持 200 nA 的分析束流
04 無漏磁物鏡設計,可直接觀察磁性樣品
05 標配低真空模式,以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器
06 標配的光學導航模式,中文操作軟件,讓分析工作更輕松
應用案例

產品參數
關鍵參數 | 高真空分辨率 | 0.9 nm @ 30 kV,SE |
低真空分辨率 | 2.5 nm @ 30 kV,BSE,30 Pa |
1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa |
加速電壓 | 200 V ~ 30 kV |
放大倍率 | 1 ~ 1,000,000 x |
電子槍類型 | 肖特基熱場發射電子槍 |
樣品室 | 真空系統 | 全自動控制 |
低真空模式 | 180 Pa |
攝像頭 | 雙攝像頭 |
(光學導航+樣品倉內監控) |
行程 | X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm |
T: -10°~+70°,R: 360° |
探測器和擴展 | 標配 | 旁側二次電子探測器(ETD) |
低真空二次電子探測器(LVD) |
插入式背散射電子探測器(BSED) |
選配 | 能譜儀(EDS) |
背散射衍射(EBSD) |
插入式掃描透射探測器(STEM) |
樣品交換倉 |
軌跡球&旋鈕控制板 |
軟件 | 語言 | 中文 |
操作系統 | Windows |
導航 | 光學導航、手勢快捷導航 |
自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |