日立Hitachi FlexSEM 1000 高新掃描電子顯微鏡結構緊湊，占地面積小，但分辨率不輸大型電鏡，日立Hitachi FlexSEM 1000 高新掃描電子顯微鏡同時操作極其簡便，幾乎不用培訓就可操作。緊湊型設計，分辨率為4nm。新開發的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野。掃描電子顯微鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術、生命科學、產品設計研發及失效分析等領域有著廣泛的應用。 近年來，掃描電鏡觀察表面精細結構及元素分析的需求日趨增加，而越來越多的用戶希望能在生產線、品保檢驗線和辦公區等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此，體積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關注。日立Hitachi FlexSEM 1000 高新掃描電子顯微鏡主機寬450mm、長640mm，相比SU1510型號體積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備標準化的電源接口。主機與供電單元可分離，安裝非常靈活。
日立Hitachi FlexSEM 1000 高新掃描電子顯微鏡采用設計的電子光學系統和高可靠性、高靈敏度的探測器，分辨率高達4nm。日立Hitachi FlexSEM 1000 高新掃描電子顯微鏡有多種自動化功能，操作簡便，即便是初次操作者也能快速拍出高質量圖像。另外，新開發的導航功能「SEM MAP」可使用各種光學圖片或電鏡照片進行導航，一鍵就快速精準地切換至感興趣的高倍率視野。
特點：通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察；操作簡捷，即使新手也能拍出高質量的圖片；新開發的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野；大窗口（30mm2）SDD能譜系統，便于快速分析元素成分*2。
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